碳化硅 流程

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碳化硅工艺过程简述百度文库年月日电热通过炉芯表面传给炉料,使之逐渐加热,达到以上时,即发生化学反应,生成碳化硅,并逸出一氧化碳。随着时间的推移,炉料高温范围不断扩大,形成